أخبار الشركة عن ما وراء الضغط: المسامير في أنظمة الفراغ

بينما الوظيفة الأساسية لمعظمطوابق معدنيةهي أن تحتوي على السائل تحت الضغط الإيجابي، فإنها تلعب دورا حاسما بنفس القدر، ولكن في كثير من الأحيان عكسهاأنظمة الفراغفي هذه التطبيقات، فإن التحدي ليس منع السائل من الهروب، ولكن لمنع الغازات الجوية غير المرغوب فيها من دخول النظام، وضمان بيئة نظيفة للغاية، وانخفاض الضغط.هذا يتطلب معايير أكثر صرامة لختم المواد.

أنظمة الفراغ ضرورية في مجموعة واسعة من الصناعات:

• تصنيع أشباه الموصلات:إنشاء غرف فراغ فائقة النقاء لإيداع الأفلام الرقيقة والشرائح الصغيرة الحفرة، حيث حتى شوائب واحدة يمكن أن تدمر دفعة.
• محاكاة الفضاء:اختبار مكونات المركبة الفضائية في ظروف تعكس الفضاء الخارجي
• البحث والتطوير:تستند مفسّرات الجسيمات والمجهر الإلكتروني والعديد من التجارب العلمية إلى بيئات الفراغ العالي أو الفراغ العالي للغاية (UHV).
• تقنيات الطلاء:العمليات مثل ترسب البخار الفيزيائي (PVD) للطلاء الصلب أو الطلاء البصري.
• المعالجة الغذائية:تجفيف التجميد أو التعبئة الفراغية.

التحديات الفريدة للشرائح في أنظمة الفراغ:

1. ضيق التسرب:

   • في حين أن أنظمة الضغط قد تتسامح مع تسربات طفيفة، أنظمة الفراغ تتطلب درجة عالية بشكل استثنائي من ضيق التسرب.يمكن أن يضعف بشكل كبير مستوى الفراغ وتلوث العملية.
   • هذا يتطلب معالجة دقيقة بشكل لا يصدق لأوجه الشبكة واستخدام غشاشات متخصصة مصممة لخدمة الفراغ.

2. التخلص من الغازات:

   • هذه هي إطلاق الغازات المحاصرة من المواد إلى بيئة الفراغهذا هو مصدر رئيسي للتلوث ويمكن أن يحد من مستوى الفراغ الذي يمكن تحقيقه.
   • يجب اختيار مواد اللفافات والغسالات وحتى مواد التشحيم في المسامير نظراً لخصائصها المنخفضة للغاية في الغازات.الدرجات المنصهرة تحت الفراغ) تفضل.

3. الخبز الخارجي

   • العديد من أنظمة الفراغ، وخاصة UHV، تخضع لإجراء "الخبز الخارجي" حيث يتم تسخين النظام بأكمله إلى عدة مئات من درجات مئوية تحت الفراغ. وهذا يسرع عملية التخلص من الغازات،دفع الغازات الممتصة من الأسطح الداخلية، ويساعد على تحقيق أدنى الضغوط النهائية.
   • يجب أن تكون الأطراف والغرز والمسامير قادرة على تحمل درجات حرارة الخبز هذه دون التدهور أو التشوه.

شفرات متخصصة لتطبيقات الفراغ:

• شظايا (CF):هذه هي المعيار الذهبي لتطبيقات UHV.غطاء النحاستعتمد آلية الختم على التشوه البلاستيكي للضغط النحاسي أثناء ضغط حواف السكين ، مما يخلق ختمًا متينًا وقويًا وقابلًا للخبز ومتينًا للغاية.عادة ما يتم تصنيع شفرات CF من الفولاذ المقاوم للصدأ.
• أجهزة ISO-KF و ISO-K:هذه تستخدم على نطاق واسع لتطبيقات الخام والفراغ العالي.حلقات O الإلاستومرية(على سبيل المثال، فيتون، بونا-ن) في شكل غشاشات، والتي يتم ضغطها بين وجهين من الشبكة المسطحة. في حين أنه من الأسهل تجميع وتفكيكها من شبكات CF،عموماً لا يمكن طهيها عند درجات حرارة عالية ولها معدلات غازية أعلى من CF، والحد من استخدامها في UHV.
  • ISO-KF (شرائح المقبض المكشوف):قطر أصغر، غالباً ما يستخدم مع مشابك المخالب للتجميع السريع
  • ISO-K (الفلينجز المعدة بالشفرات):قطر أكبر، عادةً ما تكون مشبوكة مثل شرائح الأنابيب القياسية.
• شظايا الفراغ المخصصة:تتطلب العديد من أنظمة الفراغ شظايا متخصصة للغاية أو مصممة خصيصًا لدمج مكونات فريدة ، غالبًا ما تتميز بمنافذ متعددة أو هندسيات معقدة ،ولكن لا تزال تلتزم بمبادئ ضغط التسرب وانخفاض انبعاثات الغازات.

الاعتبارات الرئيسية للشظايا الفراغية:

• نقاء المواد:استخدام مواد ذات مستويات ضئيلة من الشوائب لتقليل الإفرازات.
• التشطيب السطحي:التشطيبات السطحية الناعمة عالية الجودة أمر حاسم للحد من مساحة السطح لامتصاص الغاز وضمان وضع المقاعد المناسبة.
• إجراءات التنظيف:تتعرض مكونات الفراغ ، بما في ذلك الفلنجات ، لعمليات تنظيف صارمة (على سبيل المثال ، التنظيف بالموجات فوق الصوتية ، التلميع الكهربائي) لإزالة الملوثات التي يمكن أن تخرج الغاز.
• المسمار:المسامير والمحار المتوافقة مع الفراغ مع خصائص انبعاث غازات منخفضة ومزلقات مناسبة (إن وجدت) ضرورية.

باختصار ، في حين أن الهدف معاكس (إبقاء الهواء خارجًا بدلاً من السوائل داخلًا) ، فإن المتطلبات المتعلقة بالشرائح المعدنية في أنظمة الفراغ أكثر صرامة من تطبيقات الضغط.إنها تمثل مجالًا متخصصًا في الهندسة حيث التصميم الدقيق، نقاء المواد، وصمود التسرب المطلق أمر بالغ الأهمية لتحقيق والحفاظ على الظروف الجوية الدقيقة المطلوبة لتقنيات متطورة والانجازات العلمية.